Tail gas treatment equipment can handle gases used in etching processes and chemical vapor deposition processes in the semiconductor, liquid crystal, and solar energy industries, including SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, and so on.
EXATH STE-behanneling metoade
Neffens de skaaimerken fan behanneling fan útlaatgas kin de behanneling wurde ferdield yn fjouwer soarten behanneling:
1 WASH WASHING TYPE (behanneling fan korrosive gassen)
2. Oksidearjend type (omgean mei brânbere en giftige gassen)
3. Adsorption (neffens it type adsorfeartmateriaal om te omgean mei it oerienkommende útlaatgas).
4.Plasma ferbaarningstype (alle soarten útlaatgassen kinne wurde behannele).
Elk soarte fan behanneling hat syn eigen foardielen en neidielen, lykas ek de omfang fan tapassing. As de behannelingmetoade wetterwask is, is de apparatuer goedkeap en ienfâldich, en kin allinich wetteropgassen behannelje; It applikaasje berik fan it wassen fan it elektryske wetter is heger dan dat fan it wetterwassen, mar de hannelingskosten is heech; It droege type hat goede behanneling effisjinsje, en is net fan tapassing op 'e gasstream dy't maklik is te verstopt of te streamen.
Gemikaliën en har troch-produkten binne faak brûkt yn 'e Sementuele-yndustry kinne wurde kategorisearre neffens har gemyske eigenskippen en har ferskillende berik:
1. BLAMBELBLE GASSES SAN SIH4H2, ensfh.
2. Toxyske gassen lykas Ash3, PH3, ensfh.
3. Korrosive gassen lykas HF, HCL, ensfh.
4. Greenhouse Gassen lykas CF4, NF3, ensfh.
Sûnt de boppesteande fjouwer gassen binne skealik foar it miljeu, moatte de direkte emisje foarkomme yn 'e at-semoseferen, mar de samling is allinich omgean mei de hieltyd feroare en subtile ferdieling fan it sementuctor-proses útlaatgas. Dêrom is it nedich om de korrespondearjende útlaatgas-behanneling-apparatuer te selektearjen en te passen neffens de gaskarakteristiken ôflaat fan elk proses om it útlaatgasprobleem op in lytse manier op te lossen. Doe't it wurkgebiet meast fuort is fan it sintrale útlaatspersysteem, liedt faaks fanwegen gasferkear of stofkeklemint yn 'e pipeline, feroarsaakje sels in eksploazje, kin it wurkfeiligens sels net soargje. Dêrom moatte yn it wurkgebiet in bytsje konfigurearje om te konfigurearjen geskikt foar de skaaimerken fan it proses gas, om it stagnant útlaatgas te ferminderjen yn it wurkgebiet, om de feiligens fan personiel te garandearjen.
Posttiid: aug-10-2023