It brûken fan gassen yn 'e semyonductor-yndustry-yndustry-datums werom nei de iere 1950 oant 1960's. Tidens it prote fan 'e Semicondor-produksjeproses binne gassen foaral brûkt om semiconductor-materialen skjin te meitsjen en te beskermjen om har suverens en kwaliteit te garandearjen. Under de meast brûkte gassen binne stikstof en wetterstof.
As Semiconductor Technology ûntwikkele en produksjeprosessen bleaune te ferbetterjen, wurdt de fraach nei gassen ferhege. Yn 1970, fierdere ûntwikkeling fan semikûner fabrikaazje technology, de tapassing fan gassen yn 'e wichtige en de ôfset fan tinne films stadichoan, en Fluoride-gassen (bgl. SF6) en soerstof waard faak etezen en depot gassen. 1980 seach in fierdere ferheging fan 'e fraach nei gassen mei de ûntwikkeling fan yntegreare sirkwy en de ferheging fan' e fraach nei har. Hydrogen waard breed brûkt yn it fabrikaazjeproses, ynklusyf hydrogen annealing en wetterstofdapoardeposysje. En fan 1990 oant hjoed de fraach nei hege suvere gassen en spesifike gassen ferhege as Seliconductor-apparaten fan Semicondor-apparaten binne trochgien om te krimpjen en nije prosessen binne yntrodusearre. De applikaasje fan ekstreem ultraviolet litografy (EUV) fereasket it gebrûk fan ekstreem hege suvergassen, lykas stikstof en wetterstof.
Sementuctor Gassen bliuwt ferheegje mei de ûntwikkeling fan besibbe produkten wurde iepene, wylst it gas dat ek wurdt iepene, sadat it gasdekregers, gasdrukken, Gasleklagge, enswedstriid, ensfh., En har rollen binne as folgjend:
Druktregers: Druktregulearators binne apparaten brûkt om gasdruk te kontrolearjen. Se besteane normaal út in regulatorventil en in drukseesor. Druktregers nimme in gas yn hege druk en stabilisearje de druk fan it útfier gas troch te passen troch de fentyl oan te passen om spesifike oanfraacheasken te foldwaan. Druktregers wurde breed brûkt yn gebieten lykas sektor, produksje en laboratoaren, lykas yn 'e Sementuctor-yndustry, ûnder oaren om de stabiliteit en feiligens fan' e gasfoarsjenning te garandearjen.
Gaswâlts: Gaskleppen wurde brûkt om de stream fan gassen te kontrolearjen en gaspassaazjes te sluten. Se hawwe normaal in op / út funksje dy't de gasstream iepent of slút. D'r binne ferskate soarten gaskleppen, ynklusyf manuele kleppen, elektryske kleppen en pneumatyske kleppen. Se wurde breed brûkt yn gasystemen om de stream te kontrolearjen, druk- en streamnivo fan gassen.
Gasdrukmieren: Gasdrukmingen wurde brûkt om it druknivo fan in gas te mjitten. Se wurde normaal ynstalleare op kritike lokaasjes yn gasystemen om druk te monitorjen en soargje derfoar dat se binnen feilige grinzen binne. Gasdrukmieren wurde breed brûkt yn 'e yndustry, fabrikaazje en laboratoaren, en de seklangsyndustry is ek belutsenens west.
Gasekektoren: Detmakoarger fan gaseknimmer: Gasekekdektoren wurde brûkt om lekkages te detektearjen yn gassystemen. Se detektearjeDe oanwêzigens fan gaslekkingen en klinkt in alarm, sadat jo yntiids aksje kinne wurde nommen om lekkaginten te foarkommen. Gasekoekjes binne breed brûkt yn yndustriële, gemyske, oalje- en gas- en gasapplikaasjes, en de semysjeryndustry is ek belutsen west.
Posttiid: FEB-20-2024