Ultra-hege suvere gassen binne essensjeel yn 'e heule semysjinuze stipetcheten. Yn feite, foar in typyske FAB, heechmoedige gassen binne gassen it grutste materiële útjeften nei Sinticon sels. Yn 'e wekker fan' e wrâldekoarekoart wreidet de sektor rapper út as ea - en de fraach nei gassen fan hege suverens is tanimmend.
De meast brûkte bulkgassen yn mitrogen fan semiconductor binne stikstof, helium, wetterstof en argon.
Nitrogen
Nitrogenen makket 78% fan ús sfear út en is ekstreem oerfloedich. It bart ek gemysk inert en net-gekken te wêzen. As resultaat hat stikstof syn wei fûn yn in oantal yndustry as in kosten-effektyf inert gas.
De Semiconductor-yndustry is in grutte konsumint fan stikstof. In moderne Semiconductor-fabrikaazjeplant wurdt ferwachte dat ik nei 50.000 kubike meter stikstof per oere brûke. Yn semiconductor-produksje hannelt nitroren, as in algemien doel Inerding en purvende gas, beskerming fan gefoelige silisium wafels út reaktive soerstof en focht yn 'e loft.
Helium
Helium is in inert gas. Dit betsjut dat, lykas stikstof, helium gemysk gemysk is - mar it hat ek it tafoege foardiel fan hege thermyske konduktiviteit. Dit is foaral nuttich yn semikonduïnemakking, wêrtroch't it tastiet dat it effisjint ferleegjend is fan 'e ferdieling fan hege enerzjy en help se te beskermjen tsjin thermyske skea en net winske gemyske reaksjes.
Wetterstof
Hydrogen wurdt wiidweidich brûkt troch it elektroanyske produksjeproduksje, en Semiconductor-produksje is gjin útsûndering. Yn 't bysûnder wurdt wetterstof brûkt foar:
ANNEALING: Silicon Wafers wurde typysk ferwaarme oant hege temperatueren en stadich ôfkuolle om te reparearjen (Anneal) de kristalstruktuer. Hydrogen wurdt brûkt om hjittens te oerdrage gelyk oan 'e wafel en om te helpen by it weropbou fan' e kristalstruktuer.
Epitaxy: oltra-hege sudrogen wurdt brûkt as fermindere agint yn 'e epitaxiale deposition fan semiconductor-materialen lykas silisium en it Germanium.
Deposition: wetterstof kin wurde doped yn Silicon-films om har atoomstruktuer mear oandwaning te meitsjen, te helpen by wjerstân te ferheegjen.
Plasma-skjinmeitsjen: Hydrogen Plasma is benammen effektyf by it ferwiderjen fan tin-fersmoarging fan ljochte boarnen brûkt yn UV Litografy.
Argon
Argon is in oar aadlik gas, sadat it deselde lege reaktiviteit as stikstof en helium eksposearje. Lykwols, de enerzjy fan Argon makket it nuttich lykwols nuttich yn semiconductor-applikaasjes. Fanwegen syn relative gemak fan ionisaasje wurdt Argon faak brûkt as it primêre plasma-gas foar etsen en depositionreaksjes yn semakeluksjeproduksje. Njonken dit wurdt Argon ek brûkt yn Excimer-lasers foar UV Lithografy.
Wêrom suverensaken
Typysk binne foarútgong yn Semicondor-technology berikt troch grutte Scaling, en de nije generaasje fan Sementuctortechnology wurdt karakterisearre troch lytsere funksje-grutte. Dit jout meardere foardielen op: mear transistors yn in bepaald folume, ferbettere streamingen, legere krêft konsumpsje en rapper wikseljen.
Lykas de krityske grutte lykwols nimt ôf, wurde Semicondor-apparaten hieltyd mear sofistyk. Yn in wrâld wêr't de posysje fan yndividuele atomen saken binne, binne fout tolerânsje drompels heul strak. As resultaat dy't moderne semiconductor-prosessen levere prosesgassen binne mei de heechste mooglike suverens.
Wofly is in hege-tech bedriuw spesjaal spesjaal spesjaliteit dy't yn 'e hichte is, elektroanyske gassysteem, foar it sammeljen fan' e technyske levering, algemien planning, systemûntwerp, Selektearje de apparatuer, prefabrikearde komponinten, De ynstallaasje en konstruksje fan it projektside, it algemiene systeem testen, ûnderhâld en oare stypjende produkten yn in yntegreare manier.
Posttiid: jul-11-2023