Wylst de Semiconductormerk groeit, wurdt noarmen foar suverens en krektens stranger. Ien fan 'e bepalende faktoaren yn' e kwaliteit fan 'e kwaliteit fan' e fabrikant fan Semicondor is de gassen brûkt yn it proses. Dizze gassen spylje in protte rollen yn it fabrikaazjeproses, ynklusyf:
Precision Proses Control
Sjongensprevinsje
Metallurgyske eigendom ferbettering
Om dizze rollen effektyf út te fieren, moat it gasfoarsjenning en distribúsjesysteem effisjint wêze. It ûntwerp fan gashannelingsystemen wurde brûkt yn Sementuctor-fabrikaazje moat wurde stipe troch robúste komponinten en oanpast gearkomste om betroubere en brieding fan 'e produksje fan hege kwaliteit te garandearjen.
Gassen brûkt yn semiconductor-fabrikaazje
It proses fan de produksje fan produksje fereasket it gebrûk fan ferskate gassen op ferskate stadia fan it proses.
Wylst mienskiplike gassen, lykas stikstof, wetterstof, aron en de helizzer wurdt brûkt yn har pure foarm, kinne bepaalde prosessen fereaskje. Silanes of Siloxanen, HexaFluorides, HexaFluorides, Hiten en Hydrocarbanen binne in pear fan 'e spesjale gassen brûkt yn semysjeld-fabrikaazje. In protte fan dizze gassen kinne gefaarlik as heul reaktyf wêze, útdagings meitsje yn 'e seleksje en ûntwerp fan komponinten foar gassystemen.
Hjir binne wat foarbylden:
\ Hydrogen en Helium kinne maklik lekt fan pipen en passende systemen fanwege har lytse atoomgrutte en gewicht.
\ Sillisten binne heul brânber en kinne spontaan ferbaarne (autobine) yn loft.
\ Nitrogen DIFLuoride brûkt yn 'e deposysje, etsen en kamerij en kamerij-skjinmakker wurdt in potens-glessengas doe't hy yn' e omjouwing lekt.
\ Hydrogen fluoride (etsende gas) is heul korrosyf foar metalen piping.
\ Trimethylgallium en ammoniak kin lestich wêze om te behanneljen - lytse fluktuaasjes yn har temperatuer- en drukeasken kinne beynfloedzje it ôfspoarproses.
Kontrolearingsbetingsten kontrolearje om de negative effekten fan dizze gassen te minimalisearjen Moat in top prioriteit wêze by systeemûntwerp. It is like wichtich om de komponinten fan 'e heechste kwaliteit te brûken lykas AFK Diaphragm-kleppen tidens it bouwproses.
System Design útdagings
Gassen fan semiconductor binne yn 'e measte gefallen fan hege suverens en jouwe inerte omstannichheden of ferbetterje reaksjes op ferskate stadia fan it fabrikaazjeproses, lykas etsen en deposysje gassen. Lekkage as fersmoarging fan sokke gassen kinne negative effekten hawwe. Dêrom is it kritysk foar de system-komponinten dy't eartiids slim wurdearje en korroegenbestindich en korrowityske polearjen) om te soargjen dat d'r gjin mooglikheid is fan fersmoarging en dat in ekstreem heech nivo fan skjinens kin wurde behâlden.
Derneist kinne guon fan dizze gassen ferwaarme wurde of ôfkuolle om winske prosessangânse te berikken. Goed isoleare komponinten soargje foar temperatuerkontrôle, dy't kritysk is foar effisjinte foarformaat fan it definitive produkt.
Fan 'e boarne-ynlos binne nei it punt fan gebrûk fan AFK, stipet AFC's breed fan komponearret de ultra hege suver, temperatuer, druk- en streamkontrôle nedich yn semysjindromten en vacuum keamers.
Untwerp systemen mei kwaliteitsplakken yn Semiconductor Fabs
De rol fan kwaliteitsplakken en ûntwerpopsjes is kritysk foar de kritysk foar de kritysk kontrôle en feilige fabrikaazje fan semiconductors. De komponinten dy't brûkten hawwe brûkt om robúste te wêzen en ljochte om te passen om te passen om te passen op ferskate stadia fan produksjewesten, fittings, regulators, pipen, pipen, en pokken wurde karakterisearre troch de folgjende funksjes:
Ultra-hege suverens
Leak-Free Seals
Temperatuer kontroleare isolaasje
Drukkontrôle
Corrosion ferset
Elektrolytyske polearjen fan behanneling
Posttiid: OCT-09-2023