High-purity gas piping technology is in wichtich ûnderdiel fan hege-suverens gas supply systeem, dat is de kaai technology te leverjen de fereaske hege-suverens gas oan it punt fan gebrûk en noch behâlde de kwalifisearre kwaliteit;Heechsuvere gaspipetechnology omfettet it juste ûntwerp fan it systeem, de seleksje fan fittings en accessoires, konstruksje en ynstallaasje, en testen.Yn 'e ôfrûne jierren hawwe de hieltyd strangere easken oan' e suverens en ûnreinensynhâld fan gassen mei hege suverens yn 'e produksje fan mikro-elektroanyske produkten fertsjintwurdige troch grutskalige yntegreare circuits de pipingtechnology fan hege suvere gassen hieltyd mear soargen en beklamme makke.It folgjende is in koart oersjoch fan gaspipes mei hege suverens út materiaal seleksjeof bou, likegoed as akseptaasje en deistich behear.
Soarten mienskiplike gassen
Klassifikaasje fan mienskiplike gassen yn 'e elektroanyske yndustry:
Gemeentlike gassen(Bulk gas）: wetterstof (H2)stikstof (N2), soerstof (O2), argon (A2), ensfh.
Spesjaliteit gassenbinne SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… ensfh.
De soarten spesjale gassen kinne algemien wurde klassifisearre as korrosyfgas, giftichgas, brânbergas, brânbergas, ynertgas, ensfh De meast brûkte semiconductor gassen wurde algemien klassifisearre as folget.
(i) Corrosive / giftichgas: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… ensfh.
(ii) Ontvlambaarheidgas: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO, ensfh.
(iii) combusibilitygas:O2, Cl2, N2O, NF3… ensfh.
(iv) Inertgas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He … etc.
In protte semiconductor gassen binne skealik foar it minsklik lichem.Benammen guon fan dizze gassen, lykas SiH4 spontane ferbaarning, sa lang as in lek sil reagearje heftich mei de soerstof yn 'e loft en begjint te brânen;en AsH3tige toxic, eltse lichte lekkage kin feroarsaakje it risiko fan minsklik libben, it is fanwege dizze foar de hân lizzende gefaren, sadat de easken foar de feiligens fan it systeem design is benammen heech.
Applikaasje berik fan gassen
As in wichtige basis grûnstof fan moderne yndustry, gas produkten wurde in soad brûkt, en in grut oantal mienskiplike gassen of spesjale gassen wurde brûkt yn metallurgy, stiel, petroleum, gemyske yndustry, masines, elektroanika, glês, keramyk, boumaterialen, bou. , itenferwurking, medisinen en medyske sektoaren.De tapassing fan gas hat in wichtige ynfloed op de hege technology fan dizze fjilden benammen, en is syn ûnmisbere grûnstof gas of proses gas.Allinich mei de behoeften en promoasje fan ferskate nije yndustriële sektoaren en moderne wittenskip en technology, kinne de gasyndustryprodukten mei sprongen en grinzen ûntwikkele wurde yn termen fan ferskaat, kwaliteit en kwantiteit.
Gasapplikaasje yn mikro-elektroanika en semiconductor-yndustry
It brûken fan gas hat altyd in wichtige rol spile yn it semiconductor proses, benammen it semiconductor proses is in soad brûkt yn ferskate yndustry, fan de tradisjonele ULSI, TFT-LCD oan de hjoeddeiske mikro-elektro-meganyske (MEMS) yndustry, allegear fan dy't it saneamde semiconductorproses brûke as it produksjeproses fan produkten.De suverens fan it gas hat in beslissende ynfloed op de prestaasjes fan komponinten en produktopbringsten, en de feiligens fan 'e gasfoarsjenning is relatearre oan' e sûnens fan personiel en de feiligens fan plantoperaasjes.
De betsjutting fan piping mei hege suverens yn gasferfier mei hege suverens
Yn it proses fan it smelten en meitsjen fan materiaal fan roestfrij stiel kin sa'n 200g gas per ton opnommen wurde.Nei it ferwurkjen fan RVS, net allinnich syn oerflak kleverig mei ferskate fersmoarging, mar ek yn syn metalen rooster ek absorbearre in bepaalde hoemannichte gas.As d'r luchtstream is troch de pipeline, absorbearret it metaal dit diel fan it gas sil de loftstream opnij ynfiere, it suvere gas fersmoargje.Wannear't de luchtstream yn 'e buis diskontinue stream is, adsorbearret de buis it gas ûnder druk, en as de luchtstream ophâldt mei trochjaan, foarmet it gas dat troch de buis is adsorbearre in drukfal om op te lossen, en it oploste gas komt ek yn it suvere gas yn 'e buis. as ûnreinheden.Tagelyk wurde de adsorpsje en resolúsje werhelle, sadat it metaal op 'e binnenste oerflak fan' e buis ek in beskate hoemannichte poeder produsearret, en dizze metalen stofdieltsjes fersmoargje ek it suvere gas yn 'e buis.Dit karakteristyk fan 'e buis is essensjeel om de suverens fan' e ferfierd gas te garandearjen, dy't net allinich in heul hege glêdens fan 'e ynderlike oerflak fan' e buis fereasket, mar ek in hege wearbestriding.
As it gas mei sterke korrosive prestaasjes wurdt brûkt, moatte korrosjebestindige roestfrij stielpipes brûkt wurde foar piping.Oars, de piip sil produsearje corrosie spots op it binnenste oerflak fanwege corrosie, en yn serieuze gefallen, der sil wêze in grut gebiet fan metalen stripping of sels perforaasje, dat sil fersmoargje de suvere gas te fersprieden.
De ferbining fan hege suverens en hege suverens gas oerdracht en distribúsje pipelines fan grutte stream tariven.
Yn prinsipe binne se allegear laske, en de buizen dy't brûkt wurde moatte gjin feroaring hawwe yn organisaasje as it welding wurdt tapast.Materialen mei in te hege koalstofynhâld binne ûnderwurpen oan de luchtpermeabiliteit fan 'e laske dielen by it lassen, wat de ûnderlinge penetraasje fan gassen binnen en bûten de piip makket en de suverens, droege en skjinens fan it oerbrochte gas ferneatiget, wat resulteart yn it ferlies fan al ús ynspannings .
Gearfetsjend, foar hege suverens gas en spesjale gas oerdracht pipeline, is it nedich om te brûken in spesjale behanneling fan hege suverens RVS piip, te meitsjen hege suverens pipeline systeem (ynklusyf pipen, fittings, kleppen, VMB, VMP) yn gasdistribúsje mei hege suverens beslacht in fitale missy.
Algemiene konsept fan skjinne technology foar oerdracht en distribúsje pipelines
Heech suvere en skjinne oerdracht fan gaslichem mei piping betsjut dat d'r bepaalde easken as kontrôles binne foar trije aspekten fan it te transportearjen gas.
Gas suverens: De ynhâld fan ûnreinens sfear yn de gGas suverens: De ynhâld fan ûnreinens sfear yn it gas, meastal útdrukt as in persintaazje fan gas suverens, lykas 99,9999%, ek útdrukt as it folume ferhâlding fan ûnreinens sfear ynhâld ppm, ppb, ppt.
Droogheid: de hoemannichte spoarfocht yn it gas, of it bedrach neamd wietheid, meastentiids útdrukt yn termen fan daupunt, lykas atmosfearyske druk dauwpunt -70.C.
Reinheid: it oantal fersmoargingsdieltsjes yn it gas, dieltsjegrutte fan µm, hoefolle dieltsjes/M3 om út te drukken, foar komprimearre loft, meastentiids ek útdrukt yn termen fan hoefolle mg/m3 fan net te ûntkommen fêste resten, dy't de oalje-ynhâld beslacht .
Klassifikaasje fan pollutant grutte: pollutant dieltsjes, benammen ferwiist nei pipeline scouring, wear, corrosie generearre troch metalen dieltsjes, atmosfearyske roet dieltsjes, likegoed as mikro-organismen, fagen en focht-befette gas kondensaasje druppels, ensfh, neffens de grutte fan syn dieltsje grutte wurdt ferdield yn
a) Grutte dieltsjes - partikelgrutte boppe 5μm
b) Partikel - materiaal diameter tusken 0.1μm-5μm
c) Ultra-mikro dieltsjes - dieltsje grutte minder as 0.1μm.
Om de tapassing fan dizze technology te ferbetterjen, om perceptueel begryp te kinnen fan partikelgrutte en μm-ienheden, wurdt in set fan spesifike partikelstatus foar referinsje levere.
It folgjende is in ferliking fan spesifike dieltsjes
| Namme / Partikelgrutte (µm) | Namme / Partikelgrutte (µm) | Namme/ Partikelgrutte (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0,03-1 | Aerosolized microdroplet 1-12 |
| Nukleêre brânstof 0,01-0,1 | Ferve 0,1-6 | Fly jiske 1-200 |
| Koalstof swart 0,01-0,3 | Molke poeier 0,1-10 | Pestizid 5-10 |
| Hars 0,01-1 | Baktearjes 0,3-30 | Cement stof 5-100 |
| Sigarette reek 0,01-1 | Sand stof 0,5-5 | Pollen 10-15 |
| Silicone 0.02-0.1 | Pestizid 0,5-10 | Minskhier 50-120 |
| Kristallisearre sâlt 0,03-0,5 | Konsintrearre swavelstof 1-11 | See sân 100-1200 |
Post tiid: Jun-14-2022