Yn semiconductor-fabrikaazje krije gassen al it wurk en lasers alle oandacht. Wylst Lasers etsen-transistor-patroanen yn Silicon dogge, de tikje de Silicon en brekt de silisium en brekt de laser op om folsleine sirkels te meitsjen is in searje gassen. It is net ferrassend dat dizze gassen, dy't wurde brûkt om mikroploed te ûntwikkeljen fia in multyf-poadiumsproses, binne fan hege suverens. Njonken dizze beheining hawwe in protte fan harren oare soargen en beheiningen. Guon fan 'e gassen binne kryogen, oaren binne korrosyf, en noch altyd oaren binne heul giftich.
Alles yn alles meitsje dizze beheiningen dy't produsearje fabrikaazje gasdistribúsje systemen foar de semysjesyndustry in mânske útdaging. Materiële spesifikaasjes binne easken. Neist materiële spesifikaasjes is in gasferdielingsarray in komplekse elektromechanyske array fan ynterconsynske systemen. De omjouwings wêryn se binne gearstald binne kompleks en oerlappende. Finale fabrikaazje fynt plak op side as diel fan it ynstallaasjeproses. Orbital-welding helpt om te foldwaan oan 'e fiere easken fan hege spesifikaasjes fan hege spesifikaasjes by it meitsjen fan stof meitsje yn strakke en útdaagjende omjouwings mear beheare.
Hoe gassen wurde brûkt yn 'e Semiconductor-yndustry
Foardat jo besykje te plannen om de fabrikaazje fan in gasferdielingssysteem te plannen, is it nedich om teminsten de basis te begripen fan 'e basis fan' e fabrikant fan semikusmakker. By syn kearn brûk Semiconduers Gassen om yn 'e buert op in heul kontroleare manier yn' e buert op in oerflak te boarne te meitsjen op in oerflak. Dizze ôfbylde fêste stoffen wurde dan oanpast troch ekstra gassen te yntrodusearjen, lasers, gemyske etanten en hjitte. De stappen yn it brede proses binne:
Deposition: Dit is it proses fan it meitsjen fan it initial silisium wafel. Silicon Preursor Gassen wurde pompt yn in krûgerde keamerspompt en foarmje tinne silisium wafels troch gemyske as fysike ynteraksjes.
Photolitografy: De foto-seksje ferwiist nei Lasers. Yn 'e hegere extreme ultraviolet litografy (Euv) Spectrap (Euv) brûkt om de heechste spesifikaasje chips te meitsjen, in koalstofdiokside laser wurdt brûkt om de mikropredersirkuïty yn' e wafel te etsen.
Etsen: Tidens it etsenproses wurdt Halogen-koalstofgas pompt yn 'e keamer om selekteare materialen te aktivearjen en op te lossen yn' e silisium substraat. Dit proses graveart effektyf de laser-printe sirkwy op it substraat.
Doping: Dit is in ekstra stap dy't de konduktiviteit feroaret de konduktiviteit fan it etsen fan it etsen oerflak om de krekte omstannichheden te bepalen wêrûnder de Semiconductor.
ANNEALING: Yn dit proses binne reaksjes tusken waferlagen wurde trigger troch ferhege druk en temperatuer. Essensjeel finiteart it de resultaten fan it foarige proses en soarget foar de finalisearre prosessor yn 'e wafel.
Kamera en line-skjinmeitsjen: de gassen brûkt yn 'e foarige stappen, foaral etsen en doping, binne faaks heul giftich en reaktyf. Dêrom fiede it proses keamer en de gaslinen moatte wurde fol mei neutralisearjende gassen om skealike reaksjes te ferminderjen of te eliminearjen fan in ynbraak fan alle ynbegrepen fan alle fersmoargjende gassen fan 'e bûtenomjouwing.
Gasferdielingssystemen yn 'e Semiconductor-yndustry binne faaks kompleks fanwegen de protte ferskillende gassen en de strakke kontrôle fan gasstream, temperatuer moatte wurde ûnderhâlden. Dit wurdt fierder yngewikkeld troch de ultra-hege suverens nedich foar elk gas yn it proses. De gassen brûkt yn 'e foarige stap moatte út' e rigels en keamers wurde spield en oars neutralisearre foardat de folgjende stap fan it proses kin begjinne. Dit betsjut dat d'r in grut oantal spesjaliseare toe-systemen en slangen binne tusken slangen en hûspels en sâlders en sâlders ûntwurpen om pipeline-fersmoarging te foarkommen fan 'e natuerlike gasfoarsjenning út te wikseljen.
Derneist sille de bûtenlânske gassen en spesjale gassen ynrjochts wêze mei bulkgas-oanbod systemen yn omkeare omjouwing en spesjaliseare beheinde gebieten om te ferminderjen yn gefal fan tafersjoch. Wenking fan dizze gassystemen yn sa'n komplekse omjouwing is gjin maklike taak. Mei soarch, oandacht lykwols foar detail en de juste apparatuer kin dizze taak mei súkses folbrocht wurde.
Produsearjen fan gasferdielingssystemen yn 'e Semiconductor Yndustry
Materialen brûkt yn semysjergasistyske sydstassing systemen binne heul fariabele. Se kinne dingen befetsje lykas PTFE-lined metalen pipen en slangen om heul korrosive gassen te wjerstean. It meast foarkommende materiaal dat brûkt wurdt foar algemien doel yn 'e Sementuele-yndustry is 316L-roestfrij stiel - in lege koalstof stielstielfariant. As it giet om 316L Versus 316 is 316L is mear resistint foar yntergranulêr korrosie. Dit is in wichtige konsideraasje by it omgean mei in berik fan heul reaktive en potensjeel volatile gassen dy't koalstof kinne korrieze. Welding 316L Stainless Steel Releases Minder Carbon Permipitates. It ferminderet ek it potensjeel foar nôtgrinzwound-eroazje, dy't kin liede ta pittende korrosie yn welds en sône beynfloede sônes.
Om de mooglikheid te ferminderjen fan korrosje dy't liedt ta produktljocht en fersmoarging, 316L-stain-stiel weld mei pure argon-beskerming fan gas en tungsten-gasfergoede weldrails is de standert yn 'e sementuele yndustry. It ienige welding proses dat de kontrôle leveret dy't nedich is om in hege suvere omjouwing te behâlden yn ferwurkingspieling. Automatisearre orbitale welding biedt allinich de werhelle prosesbehearing nedich om de weld te foltôgjen yn 'e fabrikaazje fan semysjinuïne gasdistribúsjersystemen. It feit dat sletten orbitale weldkoppen de folop en drege romten kinne foldwaan oan komplekse krúspunten tusken prosesgebieten is in signifikant foardiel fan it proses.
Shenzhen wofei Technology Co., Ltd, mei mear dan 10 jier ûnderfining yn 'e oanbod fan yndustriële en SPEMSJONSKOCHTEN, DIST-LCD-merken, wy kinne jo produkten jaan om jo produkten te bringen oan' e foarkant fan 'e sektor. Wy kinne net allinich in breed oanbod fan kleppen en fittings leverje foar semy-kondukteur Electronic spesjaliteiten, mar ek ûntwerpen fan gaspiping en apparatuer ynstallearder foar ús klanten.
Posttiid: Jul-31-2023